受2004年强劲增长势头的推动，未来几年微机电系统(MEMS)市场单位出货量的复合年增长率将为19.87%，到2009年，差不多60亿。随着市场销售持续强劲增长，2004年度MEMS公司投资较2003年度增加了43.9%。自2003年度到2004年度，MEMS年总销售收入上升32%。

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