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标准CMOS工艺开始成功用于MEMS器件的制造

近几年MEMS取得了较快的发展，其前景被业界所看好，美国一家专门涵盖MEMS及纳米技术等前沿技术的市场调查公司Bourne Report，最近引用了这样一个统计数字，2005年从事MEMS研发的新创公司得到的创投资金超过了纳米技术新创公司所得到的，达到1亿美金。

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