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用较少的硅片解决筛选实验中的混杂问题

将3/4部分析因设计技术用于刻蚀均匀性实验，解决因子交互作用混杂问题，达到均匀性目标。本文详细描述了一个通过仔细推敲数据而设计的一个增强的筛选实验，实验中增加了8个处理的实验处理序列就几乎解决了感兴趣的交互作用。

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