KLA-TENCOR新型P-6表面轮廓仪满足太阳能测量需求 |
KLA-Tencor公司日前发布其最新的探针式表面轮廓测量系统P-6,该系统针对科学研究与生产环境(例如,光电太阳能电池制造)提供一组独特的先进功能组合。P-6系统受益于在先进半导体轮廓仪系统上开发的测量技术,但却采用了较小与较经济的桌面型机台设计,可接受最大至 150毫米的样本。
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