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| SensorDynamics进军单元件双轴和三轴MEMS陀螺仪市场 微型和无线半导体产品制造商和供应商SensorDynamics（http://www.sensordynamics.cc）宣布推出双轴和三轴陀螺仪。获得专利的传感器元件采用公认的PSM-X2微机电系统（MEMS）工艺制造。自2010年1月起，该工艺可用于8英寸晶圆。这些陀螺仪可作为独立元件使用，也可以与三轴加速计进行整合，在价格、可靠性和微型化方面都开创了广阔的前景。 |
2010-04-13 |
| ST推出全新系列单轴和双轴MEMS陀螺仪 意法半导体(ST)推出新系列单轴和多轴MEMS(微机电系统)陀螺仪。意法半导体的陀螺仪以经过市场验证的微加工技术为支撑，利用硅的独特机械特性，在半导体芯片内制造可以测量运动的特殊结构，提供优异的角运动检测性能和可靠性，目标应用包括人机界面、个人便携导航仪、车载导航系统、数码相机和摄像机的图像稳定功能。 |
2009-06-17 |
| 智能手机市场进一步推动MEMS传感器销售 Suppli公司最近预测，尽管总体手机市场预计下滑，但今年智能手机出货量将比2008年增长11%。这样的预测对于微机电系统(MEMS)传感器制造商来说是求之不得的好消息。惯性传感器已经快速成为这些平台中的标准配置。苹果iPhone和Research in Motion (RIM)的Blackberry Storm等畅销机型，以及三星的Omnia、HTC的Diamond和诺基亚的N95及N96，都采用了这种传感器。 |
2009-03-26 |
| 意法全新数字输出三轴加速传感器内置智能功能 MEMS（微机电系统）技术产品的领先厂商意法半导体日前推出一系列全新高性能数字输出三轴线性加速传感器。以分辨率可伸缩性、内置智能功能和低功耗为特色，这个3x3x1mm系列微型传感器可满足消费电子产品和工业控制市场对微型化运动传感解决方案的爆炸式增长需求。 |
2008-11-27 |
| 射频微机电系统开关技术的最新进展 本文分析了射频MEMS(microelectromechanical system,微机电系统)开关技术的最新进展，介绍了该技术的优势，并对最新的MEMS产品与传统的机械式和机电式继电器和开关进行了对比。 |
2008-09-16 |
| MEMS运动传感器有助于提高手持设备的可靠性(上) 以微机电系统(MEMS)集成电路(IC)形式实现的运动传感器正在蜂窝手持设备的未来发挥关键作用，这些MEMS加速计使移动电话更便于使用，而且还能够提高手持设备的可靠性。 |
2007-02-05 |
| 射频MEMS开关技术的最新进展 电子行业若干关键领域中的一些重要应用正要求大幅度提高开关的性能。这些应用包括测试与仪器设备，以及无线手持设备与基础架构等。本文分析了射频微机电系统(MEMS)开关技术的最新进展，介绍了该技术的优势，并对最新的MEMS产品与传统的机械式和机电式继电器和开关进行了对比。 |
2008-05-12 |
| InvenSense宣布推出尺寸仅为4x5x1.2mm的两轴陀螺仪 日前，世界最小的两轴陀螺仪-IDG-1100系列在InvenSense诞生了。IDG-1100产品系列针对价格敏感且体积限制的便携式消费性应用，在晶圆阶段整合了微机电系统(MEMS)共振结构及CMOS线路，比今天市场上其它类似两轴陀螺仪产品尺寸至少小了25%。 |
2008-02-02 |
| 飞思卡尔建成先进200mm MEMS生产线 飞思卡尔半导体建成先进的微机电系统(MEMS) 200mm(8-inch)生产线来满足不断增长的传感器市场需求。 |
2008-01-17 |
| ST小型化运动传感器引领MEMS产品消费化浪潮 世界最大的微机电系统（MEMS）元器件制造商之一的意法半导体推出新一代“纳”三轴线性加速计芯片。这是一款多功能的低功耗的MEMS传感器，输出接口配置灵活，内建智能功能，可满足消费和工业市场对微型化运动传感器解决方案的爆炸性增长需求。 |
2007-10-17 |
| Debiotech牵手ST，纳米胰岛素注射泵制造取得巨大突破 Debiotech和意法半导体日前宣布双方签订一份制造销售独特的微型胰岛素注射泵的战略合作协议。这个纳米泵是一个基于微流控MEMS(微机电系统)技术的创新概念，设计原理是把一个微型注射泵安装在一次性皮肤贴布上给糖尿病患连续输注胰岛素。 |
2007-04-25 |
| 大众市场应用加速MEMS向主流技术发展 微机电系统(MEMS)IC已经开始进入大众市场应用。从去年11月在美国亚利桑那州斯科特斯德市举行的微机电系统管理者会议上的演示可以看出，驱动因素包括下一代MEMS麦克风、定时设备、三轴加速计、RF MEMS IC，以及使用CMOS处理技术的制造工艺的进步。 |
2007-04-02 |
| MEMS运动传感器有助于提高手持设备的可靠性(下) 以微机电系统(MEMS)集成电路(IC)形式实现的运动传感器正在蜂窝手持设备的未来发挥关键作用，这些MEMS加速计使移动电话更便于使用，而且还能够提高手持设备的可靠性。 |
2007-02-05 |
| MEMS器件来势汹汹，今年将大举进攻消费电子领域？ 代表微机电系统(MEMS)和微结构两大产业的行业协会“微机电系统产业联盟”(MIG)日前公布了一年一度的产业报告，该报告论述了MEMS产业内高速增长的细分市场。 |
2007-01-31 |
| MEMS传感器应用渐热，飞思卡尔CES推出三轴加速计 微机电系统(MEMS)传感器设备设计制造商飞思卡尔半导体目前正通过引入高敏感度的XYZ三轴加速计，满足当今智能移动设备领域日益增长的移动感应需求。 |
2007-01-12 |
| 高灵敏度、低G值传感器打造新的MEMS市场 飞思卡尔半导体最近新推出三款高灵敏度低重力加速度(low-g)传感器，以及一种电场(E-field)传感器，将推动微机电系统(MEMS)器件进一步渗透市场。这些传感器具有相当大的灵敏度范围，且成本很低，目标应用遍及消费、医疗、汽车和工业领域。 |
2006-06-19 |
| SEMulator 3-D：由MEMS工具衍生出的新型IC开发工具 面向微机电系统(MEMS)的一种三维建模工具已经衍生出了一款类似工具，主要针对半导体工艺的文档编制和开发。 |
2006-01-27 |
| 2009年前MEMS出货量每年将上升20% 受2004年强劲增长势头的推动，未来几年微机电系统(MEMS)市场单位出货量的复合年增长率将为19.87%，到2009年，差不多60亿。随着市场销售持续强劲增长，2004年度MEMS公司投资较2003年度增加了43.9%。自2003年度到2004年度，MEMS年总销售收入上升32%。 |
2006-02-15 |
| MEMS大大削减了食物处理分析的成本 食物和饮料成份分析是工业处理领域的一个重要部分。为了安全和分级，安装在生产线上的光谱仪器用来执行这个总是如此昂贵而麻烦的步骤。但是现在，微机电系统(MEMS)已经改进并简化了光谱法，使之在工业生产中的成本效益比更高。 |
2006-03-06 |
| 利用内建测试技术抑制移动通信中的镜像干扰 移动通信中的算法是提高性能的关键技术之一，如GSM系统在初始阶段采用高斯最小频移键控(Gaussian Minimum Shift Keying,GMSK)，在GPRS阶段采用8进制相移键控(8PSK)。在利用算法演进提高性能的同时，系统的另外一个瓶颈出现在混合信号的处理上，信道的不匹配造成的镜像干扰便是其中之一。随着微机电系统(MEMS)技术的逐步成熟和大规模应用，利用MEMS的内建测试(Test-On-Chip,TOC)技术来抑制信道失配造成的镜像干扰就是一种有效的解决方案。 |
2006-01-27 |
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