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什么是MEMS?

MEMS是Micro Electro Mechanical systems的缩写,即微电子机械系统。MEMS是微机械(微米/纳米级)与IC集成的微系统,即具有智能的微系统,MEMS基于硅微加工技术但不仅限于它。简单来说,MEMS就是对系统级芯片的进一步集成。我们几乎可以在单个芯片上集成任何东西,像运动装置、光学系统、发音系统、化学分析、无线系统及计算系统等,因此MEMS技术是一门多学科交叉的技术。MEMS器件价格低廉、性能优异、适用于多种应用,将成为影响未来生活的重要技术之一。

共搜索到69篇文章
2009-06-26 Knowles MEMS硅麦克风出货量已超过8亿片
  早在2002年,Knowles就利用其在微型麦克风设计和CMOS/MEMS技术方面的组合专业技能,推出了全球第一个表面贴装MEMS硅麦克风。SiSonic硅麦克风系列产品已发展到第四代,产品出货量已超过8亿片。
2009-06-17 意法半导体推出首款最薄的三轴数字式MEMS加速计
  意法半导体(ST)推出世界上最薄的三轴数字式MEMS加速计,LIS302DLH 是一款高性能、高稳定性的16位器件,厚度只有0.75mm,与意法半导体的Piccolo MEMS系列的其它产品一样,占板面积仅3×5mm,以节省空间的产品设计为目标应用。
2009-06-17 ST推出全新系列单轴和双轴MEMS陀螺仪
  意法半导体(ST)推出新系列单轴和多轴MEMS(微机电系统)陀螺仪。意法半导体的陀螺仪以经过市场验证的微加工技术为支撑,利用硅的独特机械特性,在半导体芯片内制造可以测量运动的特殊结构,提供优异的角运动检测性能和可靠性,目标应用包括人机界面、个人便携导航仪、车载导航系统、数码相机和摄像机的图像稳定功能。
2009-06-15 ST:MEMS加速度传感器五大功能简化用户设计
  随着苹果iPhone和任天堂Wii游戏机的流行,加速度传感器在消费类电子设备中得到了广泛的应用。例如,笔记本中的跌落保护、MP4/手机中的屏幕自动翻转、轻敲手机挂断电话以及手机“翻转静音”等等。这些应用改变了传统设备与用户之间的交互方式,使产品有了更好的用户体验。作为这场变革的领导者,意法半导体(ST)的微机械加速度传感器不仅能够输出加速度的数值,同时集成了很多的功能模块,可以实现上述的应用。我们将以LIS35DE和LIS331DLH芯片内部的功能模块作为线索,介绍意法半导体加速度传感器的性能特点,并介绍如何配置传感器的功能模块来实现特定的应用。
2009-05-05 不受电压限制的便携设备用MEMS运动传感器
  iPhone独具特色的甩屏甩歌用户界面大大推动了MEMS加速度传感器在手机等便携式设备中的应用,意法半导体(ST)最近推出的一款三轴MEMS加速度传感器可在2.16V到3.6V之间的任何电源电压下都可以操作,是空间和成本受限的电池供电设备的运动传感应用的理想选择。
2009-05-05 信噪比大于61dB的手持设备用MEMS麦克风
  尽管集成语音、音乐与视频的电子设备的数量在不断增加, 但这些手持式电子产品的声音质量却未能达到消费者的预期。ADI公司最新推出的MEMS麦克风系列产品ADMP421与ADMP401,具有大于61dB(A-weighted)的业界最高信噪比(SNR),而目前手机中最高质量的声音仅为55dB。
2009-04-15 2009全球MEMS市场仍将增长,新工艺带来更大设计自由
  Point 35 Microstructure公司共同创始人以及销售总监Tony McKie不久前在上海表示,金融危机对全球MEMS市场“几乎没有”影响。“虽然消费类应用占据了MEMS市场近50%的市场份额,但是包括手机、游戏控制器、玩具、GPS、笔记本电脑以及硬盘等在内的新兴应用将会填补这一变化留下的空缺。
2009-03-26 智能手机市场进一步推动MEMS传感器销售
  Suppli公司最近预测,尽管总体手机市场预计下滑,但今年智能手机出货量将比2008年增长11%。这样的预测对于微机电系统(MEMS)传感器制造商来说是求之不得的好消息。惯性传感器已经快速成为这些平台中的标准配置。苹果iPhone和Research in Motion (RIM)的Blackberry Storm等畅销机型,以及三星的Omnia、HTC的Diamond和诺基亚的N95及N96,都采用了这种传感器。
2009-01-01 超小型MEMS陀螺仪全程量可测角速率高达每秒±300度
  意法半导体新推出的LY530AL MEMS陀螺仪能够提高设计灵活性,简化集成难度,并节省外部元器件。其全程量可测角速率高达每秒±300度,在直观人机界面或增强型汽车导航GPS等应用中,这一全新陀螺仪可测量快速角位移。
2009-01-01 MEMS在消费电子应用中演绎神奇
  许多最新的消费电子产品都包含一个或多个MEMS IC功能以测量和控制诸如运动、位置、力甚至温度等要素。因此,MEMS IC不仅在加速计和陀螺仪内扮演关键角色,还在压力传感器、麦克风、时序器件、滤波器、开关、微显示器、红外温度传感器和微型马达等产品中发挥关键作用。
2008-12-23 双芯片MEMS设计有助于加速产品面市
  ST公司MEMS产品的优势来源于采用了两块芯片,其中机械部分检测电容变化,ASIC(专用集成电路)单元负责计量。这种双芯片设计具有很大的灵活性,可按照不同应用需求调整ASIC单元参数,而不用改变机械部分,从而可以加快产品面市时间。
2008-12-01 利用MEMS传感器提高医疗设备流量测量精度
  降低成本、减少空间、减轻重量的一个方法是在旁路通道设置低流量MEMS传感器来测量主通道上较大的流量。
2008-10-24 意法针对汽车系统和工业应用推出MEMS加速度传感器
  意法半导体推出旗下首款的汽车质量级三轴MEMS加速度传感器。新产品AIS326DQ符合AEC-Q100汽车产品质量标准。意法半导体充分发挥成功的MEMS八寸晶圆厂制造能力,以具有竞争力的价格为系统集成商提供MEMS前沿技术。
2008-10-22 欧胜推出全球第一款可提供±1dB灵敏度误差的超微型MEMS硅麦克风
  欧胜微电子前天正式宣布推出其全新系列MEMS硅麦克风的首两款产品WM7110和WM7120,典型模拟信噪比可达到62dB,欧胜高级业务拓展工程师罗正怡指出:“这是目前业内MEMS麦克风实现的最高信噪比。”
2008-10-21 SiliconLabs推全硅振荡器,给石英振荡器和MEMS市场大泼冷水
  在消费电子与无线应用的联合推动下,业界厂商以及一些市场调研机构都对MEMS振荡器的前景给出了乐观的预测。“新一波增长在一定程度上源于游戏机、笔记本电脑和数码相机的运动传感器等消费电子应用快速增长。” iSuppli公司MEMS总监兼首席分析师Jérémie Bouchaud表示,“此外,手机也将是一个重要领域。” 来自该公司的数据显示,2012年MEMS市场将从2006年的61亿美元扩展到88亿美元。
2008-09-28 ADI公司推出业界最高性能的MEMS麦克风
  ADI最新推出MEMS麦克风系列产品?ADMP421与ADMP401,新款数字与模拟输出麦克风系列产品提供业界最佳信噪比及频率响应.除了提供业界最佳信噪比与频率响应外,ADMP401模拟输出MEMS麦克风还提供优于-50dBV的出众PSRR,能够简化近场与远场应用中麦克风的电源设计需求。
2008-09-25 在消费电子应用中,MEMS演绎神奇
  许多最新的消费电子产品包括一个或多个MEMS IC功能用以测量和控制诸如运动、位置、力甚至温度等因素。这样,MEMS IC就不仅在加速器和陀螺仪内扮演关键角色,还在压力传感器、麦克风、时序器件、滤波器、开关、微显示器、红外温度传感器和微型电机等产品中发挥关键作用。
2008-09-23 ST推出超小型MEMS陀螺仪
  超小型MEMS陀螺仪,提供模拟和数字输出,优化设计灵活性和系统分割,简化集成难度,并节省外部元器件,5×5mm尺寸 LGA-16的产品,扩大电源电压范围,并提供电源管理支持。
2008-08-22 摩托罗拉A1600手机采用Siimpel基于MEMS系统的相机技术
  光学微系统解决方案供应商Siimpel公司日前宣布,其基于MEMS的硅相机技术的产品SiimpelFocus SF9x已用于摩托罗拉最新发布A1600(MING A1600)手机。A1600 是业界第一款集 MEMS 技术、连续自动聚焦相机、增强的 GPS 功能和一整套移动商务应用于一体的手机。
2008-08-08 功率晶体管、RF MEMS和振荡器的技术进展
  HVVi Semiconductors (www.hvvi.com)新近推出的RF功率晶体管架构就属于这类久而弥醇的技术,它借鉴且同时创新了分立硅功率晶体管技术。
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