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什么是MEMS?

MEMS是Micro Electro Mechanical systems的缩写,即微电子机械系统。MEMS是微机械(微米/纳米级)与IC集成的微系统,即具有智能的微系统,MEMS基于硅微加工技术但不仅限于它。简单来说,MEMS就是对系统级芯片的进一步集成。我们几乎可以在单个芯片上集成任何东西,像运动装置、光学系统、发音系统、化学分析、无线系统及计算系统等,因此MEMS技术是一门多学科交叉的技术。MEMS器件价格低廉、性能优异、适用于多种应用,将成为影响未来生活的重要技术之一。

共搜索到83篇文章
2010-01-18 设备小型化趋势让MEMS麦克风大有作为
  MEMS麦克风的微型化设计可满足便携式设备对轻薄短小的要求。针对今年微型声学器件的应用趋势和设计需求,《电子系统设计》采访了AAC市场及客户管理部副总裁潘哲源先生。
2009-12-18 MEMS陀螺仪和加速度计为广泛应用带来更酷的新功能
  苹果的iPhone和任天堂的Wii让我们习惯于使用加速度计和陀螺仪实现手势识别,比如拍打、双击和摇动,进而激活某些功能和调节工作模式。除了使产品更酷外,提供手势输入还有其它好处。在水下照相机等产品中,无按键设计还有降低系统成本和使系统更加坚固耐用的优点。拍打接口也非常适合用于可佩戴和可植入医疗设备。
2009-11-18 集成360度角速度自由检测功能的3轴MEMS陀螺仪
  意法半导体推出一款高性能单封装的模拟陀螺仪,可沿三个正交轴 精确测量角速度。以优异的精确性、稳定性取胜,加上设计紧凑,意法半导体的3轴陀螺仪将让各种消费电子产品得以广泛采用真实动作控制的用户界面。
2009-11-11 功耗大幅降低的全新MEMS陀螺仪体积比之前的器件缩小50%
  意法半导体扩大运动传感器产品阵容,新推出13款单轴和双轴陀螺仪。新产品系列体积比之前的器件缩小50%以上,功耗大幅降低,价格更具竞争力,意法半导体的全新高性能角运动传感器开启创新型消费电子产品时代,例如,手势控制的游戏机和遥控指向产品、数字摄像机或数码相机的图像稳定功能,以及GPS导航辅助系统。
2009-10-29 MEMS加速传感器的关键参数/功能及其对各种应用的影响
  本文详细介绍了ST MEMS 加速度传感器的关键参数,如轴数、0g偏差值、灵敏度、分辨率、满量程、输出数据数率、工作电流、灵敏度温度系数、0g偏差值温度系数、抗冲击性,以及内置功能如:高通滤波、单击/双击识别、唤醒/自由落体中断设置、自动唤醒功能、左/右方向挥动识别。基于以上基础,将联系到具体市场上比较常见的应用比如倾角测量仪、硬盘保护、计步器,横竖屏切换、音乐上下首切换、图片切换、菜单浏览、地图浏览、翻转静音、单击/双击静音、游戏等来进一步说明每种应用对具体参数的要求。
2009-09-01 楼氏电子SISONIC MEMS麦克风出货量突破10亿颗
  随着第10亿颗SiSonic 表面黏着MEMS麦克风的出货,楼氏电子达到MEMS科技史上的重要里程碑。楼氏电子于2003年推出首款MEMS麦克风,现已成为全球MEMS消费性及行动应用市占率排名前五大的供货商 (数据源:iSuppli Corp.,2009年1月),也是MEMS硅麦克风制造的世界领导厂商。
2009-08-21 Bosch收购全球第一个开发出数字MEMS麦克风的Akustica
  2009年8月19日,全球顶级的MEMS产品制造商之一Robert Bosch North America终于同意收购Akustica公司。通过这次收购,Bosch将能够增强它为快速发展的消费电子市场提供MEMS传感器产品的能力。
2009-08-03 ST MEMS加速传感器的关键参数/功能以及其对各种应用的影响
  本文详细介绍了ST MEMS 加速度传感器的关键参数, 如轴数, 0g偏差值, 灵敏度, 分辨率, 满量程, 输出数据数率, 工作电流, 灵敏度温度系数, 0g偏差值温度系数, , 抗冲击性 以及内置功能如 高通滤波, 单击/双击识别, 唤醒/自由落体中断设置, 自动唤醒功能, 左/右方向挥动识别.
2009-07-30 ST三轴加速度MEMS传感器
  ST三轴加速度MEMS传感器。
2009-07-30 ST二轴MEMS加速度传感器
  ST二轴MEMS加速度传感器。
2009-07-28 Akustica到07年底已交付2百万颗CMOS MEMS数字麦克风
  2007年11月2日,系统级声学芯片先驱Akustica宣布已交付2百万颗数字麦克风。
2009-07-28 美国ITC判决MemsTech侵犯Knowles MEMS专利
  2009年6月12号,美国国际贸易委员会(ITC)做出如下判决,MEMS Technology Berhad(又称为MemsTech)违反了美国1930号关税法的第337条款,其MEMS麦克风封装的非法进口和销售侵犯了Knowles的美国专利6,781,231和7,242,089。ITC的裁决不仅证实了 MemsTech的MEMS麦克风封装和任何使用这些封装的产品侵犯了Knowles的专利,也证实了 Knowles的专利是有效的和强制执行的。根据驱逐令,MemsTech侵权Knowles专利的产品将不会被允许进入美国市场。
2009-07-28 MEMS硅麦克风技术进展总结报道
  全球各地的设计工程师正越来越了解ADI公司创新性iMEMS技术的强大能力。从最初的运动传感器,到现在的iMEMS麦克风,这推动着iMEMS技术在数百项尖端应用中得以实现。
2009-07-27 卓锐微技术发布ACT2100系列高精度MEMS加速度传感器
  日前,中国本土优秀的传感器器件和系统提供商北京卓锐微技术有限公司(Acuti Microsystems Co., Ltd.)推出ACT2100系列高精度MEMS加速度传感器。该系列加速度传感器采用先进的SOI体硅工艺制造,并基于卓锐微技术第二代Cery2000高精度MEMS加速度传感器专用接口芯片进行信号调理。其应用领域包括地震勘探和钻探、惯性导航和制导、振动测量、倾斜测量等工业领域。在地震勘探领域中,通过使用加速度传感器来替换传统的速度传感器,可以在低频和高频获得更好的信噪比,从而有效提升成像质量。
2009-07-20 ADI全新MEMS惯性传感器成本仅为同类产品的几分之一
  ADI公司最新推出两款全新惯性传感器ADIS16405与ADIS16300,它们具有前所未有的系统控制能力,并易于集成,而成本仅为同类产品的几分之一。这两款惯性传感器能在工业和医疗仪器仪表等多种应用中简单且以合理的价格实现复杂的运动与导航控制。
2009-07-20 可编程MEMS冲击与震动传感器简化工业和仪表系统监测
  在对低功耗、低成本和小尺寸的严苛系统设计中,ADI最新推出两款高集成度惯性传感器ADIS16240和ADIS16220可为产品提供冲击和震动检测功能。这两款iSensor智能传感器产品极大地简化了在恶劣工业环境中实现嵌入式冲击和震动感应的复杂任务。同以往的集成度较低的积木式传感器模块相比,这些基于ADI iMEMS惯性传感器内核的准系统全自主器件成本仅为1/10,体积减小100倍。
2009-07-08 老将撑腰经验打底,MEMS传感器市场新兵有戏
  无论Nokia N95/N96、黑莓手机、三星的Omnia还是宏达的Diamond??当然还有苹果的iPhone,在如今几乎所有热销的智能手机中,MEMS技术都扮演着非常重要的角色。而在层出不穷的创意推动下,MEMS技术的应用已经不限于仅仅提供令人眼花缭乱的视觉体验,举例来说,在LG最新的手机里,用于接听来电的Tap mode以及来电时翻转手机即可实现静音等功能都是这一技术巨大潜力的最新体现。
2009-06-26 Knowles MEMS硅麦克风出货量已超过8亿片
  早在2002年,Knowles就利用其在微型麦克风设计和CMOS/MEMS技术方面的组合专业技能,推出了全球第一个表面贴装MEMS硅麦克风。SiSonic硅麦克风系列产品已发展到第四代,产品出货量已超过8亿片。
2009-06-17 ST全球最薄MEMS加速度计将甩屏功能带入超薄手机
  意法半导体(ST)推出世界上最薄的三轴数字式MEMS加速计,LIS302DLH 是一款高性能、高稳定性的16位器件,厚度只有0.75mm,与意法半导体的Piccolo MEMS系列的其它产品一样,占板面积仅3×5mm,以节省空间的产品设计为目标应用。
2009-06-17 ST推出全新系列单轴和双轴MEMS陀螺仪
  意法半导体(ST)推出新系列单轴和多轴MEMS(微机电系统)陀螺仪。意法半导体的陀螺仪以经过市场验证的微加工技术为支撑,利用硅的独特机械特性,在半导体芯片内制造可以测量运动的特殊结构,提供优异的角运动检测性能和可靠性,目标应用包括人机界面、个人便携导航仪、车载导航系统、数码相机和摄像机的图像稳定功能。
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