什么是MEMS?
MEMS是Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。MEMS是微机械(微米/纳米级)与IC集成的微系统，即具有智能的微系统，MEMS基于硅微加工技术但不仅限于它。简单来说，MEMS就是对系统级芯片的进一步集成。我们几乎可以在单个芯片上集成任何东西，像运动装置、光学系统、发音系统、化学分析、无线系统及计算系统等，因此MEMS技术是一门多学科交叉的技术。MEMS器件价格低廉、性能优异、适用于多种应用，将成为影响未来生活的重要技术之一。 |
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| MEMS汽车传感器在2010年反弹，预计出货量将达5.912亿个 据iSuppli公司的最新调研，在经历了近年来最糟糕的一年之后，微机电(MEMS)汽车传感器将在2010年强劲反弹，但销售持续红火可能在今年稍晚的时候导致市场过热，进而把该产业拖回到衰退之中。 |
2010-06-28 |
| iPhone 4成为全球首款采用MEMS陀螺仪的智能手机 苹果公司揭开了iPhone 4的面纱，iPhone 4是全球第一款支持MEMS陀螺仪的智能手机，证实了之前的推测。MEMS加速计已被普遍采用其它智能手机厂商广泛使用，但是，苹果公司率先在其MEMS加速计中增加了一个3轴MEMS陀螺仪，这将使其继续领先其他的竞争对手。 |
2010-06-11 |
| IDT可编程时钟芯片为3D TV和智能本设计提供更大灵活性 除了继续巩固在时钟芯片等市场的领导地位外，IDT不断推出了新的核心竞争力产品。比如，IDT在2008年推出了DisplayPort、HDMI、LVDS视频连接半导体方案，在2010年推出了电容式触控方案，将来还计划推出视频处理、RF、数据转换、MEMS、电源管理和ASSP产品。 |
2010-06-08 |
| ADI推出ADXRS450 iMEMS陀螺仪，专用于恶劣环境中角速率检测 ADI最近开发出高性能、低功耗、数字输出的ADXRS450 iMEMS陀螺仪，专门用于恶劣环境中的角速率(旋转)检测，以满足不断提高的精度、稳定度和抗振动抗冲击需求。MEMS运动传感器在工业自动化、医疗和仪器市场的应用得到不断发展。 |
2010-05-17 |
| 用于高保真音频回放、VoIP和语音识别的MEMS麦克风 当前许多便携式电子设备正处于音频变革的前锋。虽然近年来设计师一直致力于开发一些令人激动的新功能，如无线互联网访问和移动电视接收，但音频功能的发展始终落在后头。Analog Devices, Inc.最新推出两款 MEMS 麦克风，用于向便携式电子产品提供先进的音频功能。这些功能包括高保真音频/视频回放、免提通信、内置风噪抑制功能的语音识别以及符合 TIA-920 标准的 VoIP。 |
2010-04-26 |
| SensorDynamics进军单元件双轴和三轴MEMS陀螺仪市场 微型和无线半导体产品制造商和供应商SensorDynamics（http://www.sensordynamics.cc）宣布推出双轴和三轴陀螺仪。获得专利的传感器元件采用公认的PSM-X2微机电系统（MEMS）工艺制造。自2010年1月起，该工艺可用于8英寸晶圆。这些陀螺仪可作为独立元件使用，也可以与三轴加速计进行整合，在价格、可靠性和微型化方面都开创了广阔的前景。 |
2010-04-13 |
| “智能”隐形眼镜内嵌无线传感器，及早诊断并有效治疗青光眼 意法半导体宣布为瑞士Sensimed AG公司设计的突破性平台研制一款无线MEMS传感器，这款内嵌隐形眼镜的独特传感器，可以作为该平台附加数据读出电子系统的换能器、天线和机械支撑部件。通过及早诊断和针对个人量身订制的最佳治疗方案，这个解决方案能够更有效地照顾青光眼病患。 |
2010-04-07 |
| 与深迪公司一起探索陀螺仪的美妙应用 在IIC-China展会上，我们不仅能看到意法半导体(ST)、飞思卡尔等公司带来了自己的 MEMS产品，本土的深迪半导体(上海)有限公司也在自己漂亮的展台上展出了多款DEMO。 |
2010-03-08 |
| IIC-China 2010参展商展前专访：凯新达电子 本次IIC-China春季展，凯新达作为ABRACON的亚洲区授权分销商，带来一款最新低成本 CMOS MEMS 振荡器。该产品是基于内部MEMS 的振荡器，这是一种全新的替代传统石英振荡器的方案。MEMS 振荡器提供减少尺寸和成本的蓝图是石英振荡器不可能达到的。而且ABRACON MEMS 振荡器相对予石英振荡器有更小的耗能，可以承受更高级别的冲击和震动。 |
2010-02-22 |
| 设备小型化趋势让MEMS麦克风大有作为 MEMS麦克风的微型化设计可满足便携式设备对轻薄短小的要求。针对今年微型声学器件的应用趋势和设计需求，《电子系统设计》采访了AAC市场及客户管理部副总裁潘哲源先生。 |
2010-01-18 |
| MEMS陀螺仪和加速度计为广泛应用带来更酷的新功能 苹果的iPhone和任天堂的Wii让我们习惯于使用加速度计和陀螺仪实现手势识别，比如拍打、双击和摇动，进而激活某些功能和调节工作模式。除了使产品更酷外，提供手势输入还有其它好处。在水下照相机等产品中，无按键设计还有降低系统成本和使系统更加坚固耐用的优点。拍打接口也非常适合用于可佩戴和可植入医疗设备。 |
2009-12-18 |
| 深迪半导体发布‘中国第一动芯’，昂首挺进商用陀螺仪市场 国内首家研发商用陀螺仪系列惯性传感器的MEMS芯片设计公司深迪半导体， 日前发布了旗下第一款陀螺仪产品 -- SSZ030CG，这标志着第一款具有中国自主知识产权的商用MEMS陀螺仪诞生。 |
2009-12-09 |
| 集成360度角速度自由检测功能的3轴MEMS陀螺仪 意法半导体推出一款高性能单封装的模拟陀螺仪，可沿三个正交轴 精确测量角速度。以优异的精确性、稳定性取胜，加上设计紧凑，意法半导体的3轴陀螺仪将让各种消费电子产品得以广泛采用真实动作控制的用户界面。 |
2009-11-18 |
| 功耗大幅降低的全新MEMS陀螺仪体积比之前的器件缩小50% 意法半导体扩大运动传感器产品阵容，新推出13款单轴和双轴陀螺仪。新产品系列体积比之前的器件缩小50%以上，功耗大幅降低，价格更具竞争力，意法半导体的全新高性能角运动传感器开启创新型消费电子产品时代，例如，手势控制的游戏机和遥控指向产品、数字摄像机或数码相机的图像稳定功能，以及GPS导航辅助系统。 |
2009-11-11 |
| MEMS加速传感器的关键参数/功能及其对各种应用的影响 本文详细介绍了ST MEMS 加速度传感器的关键参数，如轴数、0g偏差值、灵敏度、分辨率、满量程、输出数据数率、工作电流、灵敏度温度系数、0g偏差值温度系数、抗冲击性，以及内置功能如：高通滤波、单击/双击识别、唤醒/自由落体中断设置、自动唤醒功能、左/右方向挥动识别。基于以上基础，将联系到具体市场上比较常见的应用比如倾角测量仪、硬盘保护、计步器，横竖屏切换、音乐上下首切换、图片切换、菜单浏览、地图浏览、翻转静音、单击/双击静音、游戏等来进一步说明每种应用对具体参数的要求。 |
2009-10-29 |
| EPSON+Boschsensortec+瓷微，三驾马车共谋手持嵌入式无线传感市场大业 以低功耗元器件闻名的EPSON正试图抓住手持式嵌入设备市场对于无线传感技术的海量需求所带来的巨大市场机会。继去年推出号称同时兼具8位MCU低功耗特性与32位MCU高性能优势的新一代用于传感器控制的16位单片机S1C17系列，并同时推出了配套的面向无线传感应用的开发平台C17Star之后，该公司不久前宣布，携手MEMS传感器主要厂商Bosch Sensortec以及Zigbee解决方案供应商瓷微科技(CeraMicro)两家合作伙伴，启动“爱普生C17电子创意大赛”，希望通过三家技术的结合激发出更多更具创意的系统级传感器和无线技术应用。 |
2009-09-25 |
| 楼氏电子SISONIC MEMS麦克风出货量突破10亿颗 随着第10亿颗SiSonic 表面黏着MEMS麦克风的出货，楼氏电子达到MEMS科技史上的重要里程碑。楼氏电子于2003年推出首款MEMS麦克风，现已成为全球MEMS消费性及行动应用市占率排名前五大的供货商 (数据源：iSuppli Corp.，2009年1月)，也是MEMS硅麦克风制造的世界领导厂商。 |
2009-09-01 |
| Bosch收购全球第一个开发出数字MEMS麦克风的Akustica 2009年8月19日，全球顶级的MEMS产品制造商之一Robert Bosch North America终于同意收购Akustica公司。通过这次收购，Bosch将能够增强它为快速发展的消费电子市场提供MEMS传感器产品的能力。 |
2009-08-21 |
| ST MEMS加速传感器的关键参数/功能以及其对各种应用的影响 本文详细介绍了ST MEMS 加速度传感器的关键参数, 如轴数, 0g偏差值, 灵敏度, 分辨率, 满量程, 输出数据数率, 工作电流, 灵敏度温度系数, 0g偏差值温度系数, , 抗冲击性 以及内置功能如 高通滤波, 单击/双击识别, 唤醒/自由落体中断设置, 自动唤醒功能, 左/右方向挥动识别. |
2009-08-03 |
| ST二轴MEMS加速度传感器 ST二轴MEMS加速度传感器。 |
2009-07-30 |
| 精品设计专栏赏析 |
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