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替代石英晶体的硅MEMS振荡器

自从1940年中期以来石英晶体在精确频率源器件中占据主导地位，四十年MEMS振荡器的研究成果将使这种状况该发生改变。替代石英振荡器遗留的技术障碍已经得以解决，硅MEMS 振荡器的尺寸更小、使用更方便以及更加便宜, 这些规格指标已超过了所替代的石英振荡器。

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