| Epson Toyocom:QMEMS技术推动高精度石英器件发展 |
所谓QMEMS是指那些对石英原料使用精密加工(光刻)技术,集结了机械、电子、光学、化学等相关的各种功能,具备高精度,高稳定性等附加价值的晶体元器件。
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